中科鋼研高純碳化硅項目及高端裝備項目開(kāi)工
12月18日,中科鋼研高純碳化硅粉和智能高端裝備制造項目開(kāi)工儀式在山東菏澤舉行。
據悉,集中開(kāi)工的兩個(gè)項目采用國際一流標準,建設智能高端裝備和高純碳化硅粉新材料兩個(gè)“總部+生產(chǎn)+研發(fā)”三合一項目,投資額均超過(guò)10億元。早前披露信息顯示,2018年開(kāi)工總投資10億元的山東萊西中科鋼研半導體項目預計年內投產(chǎn),全部達產(chǎn)可實(shí)現年產(chǎn)5萬(wàn)片4英寸碳化硅晶體襯底片、5000片4英寸高純度半絕緣型碳化硅晶體襯底片。菏澤項目無(wú)疑是該項目原料就近供給的有力支撐。
中科鋼研擁有先進(jìn)的4/8英寸升華法碳化硅長(cháng)晶爐,4英寸高溫化學(xué)氣相沉積法碳化硅生長(cháng)技術(shù),填補了國內空白,并具備了產(chǎn)業(yè)化應用條件。
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