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金蒙新材料祝賀6英寸碳化硅單晶襯底研制成功

文章出處:原創(chuàng)網(wǎng)責任編輯:劉坤尚作者:彭國臣人氣:-發(fā)表時間:2014-12-16 16:54:00【

  金蒙新材料公司從新材料在線行業(yè)網(wǎng)站獲悉:近日,中科院物理研究所成功研制6英寸碳化硅單晶襯底。

  眾所周知,碳化硅單晶是一種寬禁帶半導體材料,具有禁帶寬度大,臨界擊穿場強大,熱導率高,飽和漂移速度高等諸多特點,被廣泛應用于制作高溫、高頻及大功率電子器件。此外,由于碳化硅和氮化鎵的晶格失配小,碳化硅單晶是氮化鎵基LED、肖特基二極管、MOSFET、IGBT、HEMT等器件的理想襯底材料。為降低器件成本,下游產(chǎn)業(yè)對碳化硅單晶襯底提出了大尺寸的要求,目前國際市場上已有6英寸(150毫米)產(chǎn)品,預計市場份額將逐年增大。

  中國科學院物理研究所專家團隊通過長期以來的摸索和實驗,特別是通過不斷的自主創(chuàng)新,獲得了關于碳化硅單晶生長設備、晶體生長和加工技術等一整套自主知識產(chǎn)權。為將來此類產(chǎn)品的國產(chǎn)化大批量產(chǎn)打下堅實基礎。

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